此前有报导称，台积电执行长魏哲嘉近日访问了ASML总部，也拜访了激光供应商通快，与对方高层会面。台积电似乎改变了之前对高NA的看法
对极紫外光刻技术的一些看法可能会加速新技术、新设备的引进。
据WCCFtech报道，ASML发言人莫尼克·莫尔斯向媒体提到，ASML首席财务官罗杰
达森已确认，将在今年年底前向英特尔和台积电发货两款High-NA设备
EUV光刻机。受此消息刺激，ASML股价今日开盘后大幅上涨，6月5日收盘时涨幅达9.52%。
由于英特尔在采购High-NAEUV光刻机方面一直相当积极，它已经在新设备出现时先下了订单，并在去年年底获得了行业首个商用High-NA。
EUV光刻机已经组装完成一段时间了。据传英特尔已经获得了明年上半年之前生产的大部分High-NA
EUV光刻机，所以选择继续接收是正常操作。真正让人惊讶的是台积电。要知道，就在不久前，台积电高层还在否认短期内会推出High-NA
EUV光刻机的实践认为，设备过于昂贵，而A16工艺的公布也在一定程度上印证了这一想法。
随着ASML确认台积电今年将推出High-NA，
对于EUV光刻机，已有媒体联系台积电了解相关情况，但得到的答复是与供应商密切合作，现阶段看来不想做太多回应。据了解，三星和SK海力士明年也将获得High-NA
EUV光刻机，预计2025年下半年。
此前有报道称，一台High-NAEUV光刻机的价格约为3.8亿美元，是EUV(约1.83亿美元)的两倍多。目前，ASML每年高NA
EUV光刻机的产能约为5至6台，收到的订单数量在10至20台之间。
